微型机械加工技术国内外发展现状及趋势

微型机械加工技术概念

微型机械加工或称微型机电系统或微型系统是只可以批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通讯电路和电源等于一体的微型器件或系统。其主要特点有：体积小（特征尺寸范围为：1μm理引发癫痫病病因、新功能的元件和系统，开辟一个新技术领域，形成批量化产业。

微型机械加工技术是指制作为机械装置局限性癫痫小发作的微细加工技术。微细加工的出现和发展早是与大规模集成电路密切相关的，集成电路要求在微小面积的半导体上能容纳更多的电子元件，以形成功能复杂而完善的电路。电路微细图案中的最小线条宽度是提高集成电路集成度的关键技术标志，微细加工对微电子工业而言就是一种加工尺度从微米到纳米量级的制造微小尺寸元器件或薄模图形的先进制造技术。目前微型加工技术主要有基于从半导体集成电路微细加工工艺中发展起来的硅平面加工和体加工工艺，上世纪八十年代中期以后在LIGA加工（微型铸模电镀工艺）、准LIGA加工，超癫痫病人的寿命有多长微细加工、微细电火花加工（EDM）、等离子束加工、电子束加北京治癫痫医院有哪些工、快速原型制造（RPM）以及键合技术等微细加工工艺方面取得相当大的进展。